高纯气体中的标准物质有严格要求

2020-02-24 03:31:41 628

  在开发高纯气体参考材料期间,通常很难监控或痕量杂质。它是确保半导体芯片和大规模集成电路质量的关键因素,它的生产受许多因素影响。下面就跟着雄辩简单了解一下它的标准物质有严格要求的介绍。

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  从称重和分配到使用,它流经许多管道,并与许多配件,控制装置和净化设备接触。在长期运行中,由于附件,设备和材料的影响,可能会发生局部泄漏,从而导致气体污染。在制备气体参考材料的过程中,它们还受到上述因素的影响。因此,在生产过程中,纯度监测是确保产品质量的关键。

  为了确保高纯气体标准材料的质量,必须配备高质量的分析测试设备。杂质含量被控制在10-6、10-9和10-12的范围内。质量监测的实验室应配备高精度分析仪器,并进行年度计量验证。

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